Каталог документов NormaCSГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требованияГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требованияСтатус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS. Ограничение срока действия снято: Протокол № 2-92 МГС от 05.10.92 (ИУС 2-1993)Синонимы: СТ СЭВ 2760-80 Текст документа: присутствует в коммерческой версии NormaCS Сканкопия официального издания документа: присутствует в коммерческой версии NormaCS Страниц в документе: 3 Утвержден: Госстандарт СССР; Комитет стандартов, мер и измерительных приборов при Совмине СССР, 31.03.1982 Обозначение: ГОСТ 25196-82 Наименование: Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования Дополнительные сведения: доступны через сетевой клиент NormaCS. После установки нажмите на иконку рядом с названием документа для его открытия в NormaCS Пожалуйста, дождитесь загрузки страницы... |